廠(chǎng)家直銷(xiāo) 量大從優(yōu) 保證質(zhì)量 聯(lián)系方式 150 3820 1226 王倩
產(chǎn) 品 特 點(diǎn) |
與普通的CVD系統相比,因為有等離子源的介入,系統的沉積溫度相對較低。 配備有滑軌式管式爐可以輕松實(shí)現快速降溫,實(shí)現快速退火。 操控界面可配備液晶操作系統,圖文顯示,直觀(guān)易懂,對于設備的使用操作簡(jiǎn)單易學(xué) 該系統工作溫度接近1150℃,能滿(mǎn)足大多數熱處理場(chǎng)合。 該設備可具體用于:碳、 ZnO 納米管或納米線(xiàn)的制備也可以用于制備單層石墨烯以及各種CVD實(shí)驗 。 |
等 離 子 發(fā) 生 器 |
輸出功率: 5 ~500W ± 1% . 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% . 反射功率: 約200W 阻抗匹配: 自動(dòng) |
真 空 泵 機 組 |
雙極旋片泵, 極限真空0.1Pa KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連. 管內真空可達1Pa 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類(lèi)不同而需要系數轉換。(需要另外計算費用) |
質(zhì)量流量計 | 三通道的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) :數字顯示,自動(dòng)控制. MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2和3: 0~500 sccm 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口. 進(jìn)氣接口: 1/4NPS. 出氣接口: 1/4NPS. |
水冷系統 | 水冷法蘭要求:水流量 >= 10L/M ,配有專(zhuān)業(yè)水冷機組。 |
管式爐 | 爐管直徑:80mm 爐管長(cháng)度:1400mm 爐膛長(cháng)度:440mm 控溫精度:±1℃ 工作溫度:≦1200℃ |