廠(chǎng)家直銷(xiāo) 量大從優(yōu) 保證質(zhì)量 聯(lián)系方式 150   3820  1226   王倩



 

產(chǎn) 品 特 點(diǎn)	與普通的CVD系統相比，因為有等離子源的介入,系統的沉積溫度相對較低。 配備有滑軌式管式爐可以輕松實(shí)現快速降溫，實(shí)現快速退火。    操控界面可配備液晶操作系統，圖文顯示，直觀(guān)易懂，對于設備的使用操作簡(jiǎn)單易學(xué)  該系統工作溫度接近1150℃，能滿(mǎn)足大多數熱處理場(chǎng)合。    該設備可具體用于：碳、 ZnO 納米管或納米線(xiàn)的制備也可以用于制備單層石墨烯以及各種CVD實(shí)驗 。
等 離 子 發(fā) 生 器	輸出功率:          5 ～500W    ± 1% .  射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% . 反射功率:          約200W  阻抗匹配:          自動(dòng)
真 空 泵 機 組	雙極旋片泵, 極限真空0.1Pa KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連. 管內真空可達1Pa 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類(lèi)不同而需要系數轉換。（需要另外計算費用）
質(zhì)量流量計	三通道的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) ：數字顯示，自動(dòng)控制. MFC 1范圍:  0~100 sccm  MFC 2和3:    0~500 sccm   一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口.  進(jìn)氣接口: 1/4NPS.  出氣接口: 1/4NPS.
水冷系統	水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M ，配有專(zhuān)業(yè)水冷機組。
管式爐	爐管直徑：80mm 爐管長(cháng)度：1400mm 爐膛長(cháng)度：440mm 控溫精度：±1℃ 工作溫度：≦1200℃